電化學(xué)加工（宏微二級驅(qū)動）工作臺(博實)
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹：
電化學(xué)加工（宏微二級驅(qū)動）工作臺主要應(yīng)用于電化學(xué)加工方面，具有X-Y-Z方向三維宏動和X-Y-Z方向三維微動。宏動平臺采用步進(jìn)電機(jī)結(jié)合高品質(zhì)滾珠絲桿。微動平臺由三臺壓電陶瓷致動器驅(qū)動的一維納米級精密定位工作臺MPT-1JRL003通過連接板組合而成。
在驅(qū)動中，首先采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的大行程、低分辨率的機(jī)構(gòu)進(jìn)行粗定位,實現(xiàn)大行程范圍內(nèi)快速地微米級定位精度，然后采用壓電陶瓷驅(qū)動小行程、高分辨率的微動工作臺在微米級行程范圍實現(xiàn)對粗定位平臺的納米級誤差補償。 |
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| 加入時間：2010-06-07
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