產(chǎn)品詳細(xì)介紹SQC310石英晶體膜厚控制儀系列為您提供其它生產(chǎn)廠薄膜控制儀所沒(méi)有的性能與特色。同時(shí)可為您的應(yīng)用選擇理想的模式：順序鍍膜（SQC310）或共鍍膜（SQC310C）。用于順序鍍膜，SQC310石英晶體膜厚控制儀裝備有2個(gè)傳感器輸入，2個(gè)源輸出，和8個(gè)數(shù)字輸入／輸出，提供為這些數(shù)量加倍的擴(kuò)展插件板選件用于共鍍膜，SQC310石英晶體膜厚控制儀監(jiān)測(cè)多至4個(gè)石英晶體傳感器，帶有4個(gè)PID控制輸出，16個(gè)數(shù)字輸入，和16個(gè)繼電器輸出，與SQC310的規(guī)范相同。
■高亮度，VGA活性點(diǎn)陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文。
■標(biāo)準(zhǔn)RS-232和USB（有以太網(wǎng)選件）。
■易設(shè)置和操作，有“快速設(shè)置”菜單，6個(gè)上下文-敏感的按鈕，和方便的參數(shù)設(shè)定旋鈕。
■Window程序用于開(kāi)發(fā)，測(cè)試，和下載工藝過(guò)程，和將儀器數(shù)據(jù)記錄至您的PC上，用于過(guò)程分析與質(zhì)量控制。
■精確的過(guò)程控制，尤其用于低淀積率，在10讀值／秒時(shí)的分辨率為±0.03Hz，在0至50°C溫度范圍內(nèi)的頻率穩(wěn)定性為±2ppm。
■貯存容量高至100個(gè)工藝過(guò)程，1，000個(gè)膜層，50個(gè)膜系。
■用單傳感器或多傳感器監(jiān)測(cè)源材料，提供精確的源分布監(jiān)測(cè)。 |
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